Кинескиот стартап Langdao Silex претстави прототип на светлосен извор за екстремна ултравиолетова литографија, технологија што е клучна за производство на најнапредните процесори. Компанијата наведува дека системот постигнува излезна моќност над 15 W и дека околу 90 проценти од неговите компоненти се набавени или развиени во Кина.

Прототипот FlintNano LPP-OXXO беше изложен на Кинескиот меѓународен индустриски саем во Шангај, но не беше прикажан во активна работа. Langdao Silex е основана во 2024 година од поранешни членови на Лабораторијата за гасно-празма на Универзитетот Цингхуа.

Системот користи технологија со ласерски создадена плазма. Во таквиот процес, ласерски импулси удираат во ситни загреани метални капки и создаваат исклучително жешка плазма, која потоа емитува EUV зрачење. Според спецификациите на компанијата, изворот има погонски ласер од 1.000 W, работи во опсег од 1 до 20 kHz и постигнува ефикасност на конверзија над 2 проценти.

Langdao Silex тврди дека прототипот може непрекинато да работи повеќе од 100 часа, со стабилност на плазмата од 3 проценти RMS и стабилност на EUV моќноста од 5 проценти. Таквите карактеристики би можеле да бидат доволни за експерименти со изложување на полупроводнички материјали, развој на фоторезисти и истражување на оптика за EUV системи.

Сепак, објавените 15 W не можат директно да се споредат со податоците за комерцијалните EUV машини. Компанијата не објави каде точно е измерена моќноста. Доколку бројката се однесува на зрачењето создадено во плазмата, а не на енергијата достапна по колекторот и во меѓуфокусната точка, практично употребливата моќност би била значително пониска.

За масовно производство, современите EUV системи користат далеку помоќни извори. Покрај самиот извор, целосен EUV скенер бара и прецизни повеќеслојни огледала, системи за собирање и насочување на светлината, механизми за позиционирање на вафери и ретикли, како и исклучително прецизна интеграција.

Компанијата проценува дека ќе ѝ бидат потребни уште три до пет години за комерцијализација на технологијата. Во меѓувреме, развива и посилен извор FlintMicro-LPP, но без објавени податоци за неговата моќност, ефикасност или работен век.